Whitepaper mit Praxistipps zur Herstellung von Bauteilen, die in Reinräumen eingesetzt werden
Ein Reinraum ist ein Raum im Raum. Er wird für Produktionsprozesse gebraucht, in denen Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich erzeugt werden bzw. wo mit Materialien in diesen Größenordnungen gearbeitet wird. Die Größe luftgetragener Teilchen (Stäube, Mikroben) und von einzelnen unerwünschten Gas- und Flüssigkeitsmolekülen (–> AMC*) liegt im gleichen Bereich, nämlich unterhalb von 5 µm. Sie würden solche Prozesse also stören, schlimmstenfalls die Produkte sogar zerstören.
*„Airborne molecular contamination“ (luftgetragene molekulare Schmutzteilchen); Einzelmoleküle fremder Gase und Flüssigkeiten in der Reinraumluft